中文名称:乙硅烷

中文别名:乙硅烷;二矽烷

英文名称:disilane

英文别名:DISILANE;DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE;disilicoethane;Si2H6;Silicoethane;DISILANE, 99.9+%;B silane

CAS:1590-87-0

EINECS:216-466-5

分子式:H6Si2

分子量:62.22

分子结构:

危险标志: 

风险术语:空气中自燃、吸入有害、与皮肤接触有害、刺激眼睛、刺激呼吸系统、刺激皮肤、吸入可能引起过敏

安全术语:远离火源-禁止吸烟、避免接触皮肤、如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品

物化性质:-

熔点:-132°C

相对密度:0,686 g/cm³

溶解性:soluble CS2, ethanol, benzene [MER06]

用途:

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。

乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。

上游原料:-

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