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三氟乙酰氟是半导体行业等离子刻蚀工艺中一种重要的刻蚀气体,主要用..
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性能:白色粉末,无味,密度为1.17~1.30gcm3,不溶于水..
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性能:白色或淡灰色结晶粉末,溶于苯、丙酮、氯仿、微溶于乙醇、不溶..
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性能:本品无臭、无味,溶于苯、丙酮、二氯乙烷、二硫化碳、甲苯、氯..
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性能:灰黄色粉末,无味,无毒,溶于氯仿、苯、丙酮、二硫化碳,微溶..